특허보유현황
분사형 플라즈마 발생기
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020130014663
출원일
2013-02-08
공개번호
1020140101235
공개일
2014-08-19
등록번호
1014749730000
등록일
2014-12-15
IPC 분류
H01J 37/32
대표도면
요약
공간적으로 균일한 대면적 플라즈마 제트를 구현하기 위한 분사형 플라즈마 발생기를 제공한다. 분사형 플라즈마 발생기는, 내부에 플라즈마 생성 공간을 형성하며 일측에 가스 주입구와 반대편 일측에 가스 배출구를 형성하는 유전 지지체와, 가스 주입구를 관통하면서 적어도 일부가 유전 지지체의 내부에 위치하는 제1 구동 전극과, 유전 지지체의 반경 방향을 따라 제1 구동 전극과 겹치도록 유전 지지체 상에 위치하는 제2 구동 전극과, 유전 지지체 상에서 제2 구동 전극과 이격 배치되는 접지 전극을 포함한다.
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