특허보유현황
전자 검출기
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020130019017
출원일
2013-02-22
등록번호
1013210490000
등록일
2013-10-16
IPC 분류
H01J 37/244|H01J 37/26|H01J 37/28|H01J 37/248|H01J 37/24
대표도면
요약
시료와 충돌하는 전자빔에 의해 생성되는 역확산 전자(Back Scattered Electron)와 이차 전자를 수집하는 전자 검출기에 관한 것으로서, 전자 검출기 웨이퍼부 외주에 전압 인가부를 설치하고 전압을 인가하여, 시료로부터 발생한 역확산 전자(Back Scattered Electron) 및 이차 전자를 유도하고, 이로써 전자 검출기의 전자 검출 능력 및 주사 전자 현미경의 이미지 해상도를 향상시킬 수 있다.
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