특허보유현황
수평형 열전소자의 제조 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020130025970
출원일
2013-03-12
등록번호
1013322840000
등록일
2013-11-18
IPC 분류
H10N 10/80|H10N 10/01|H01L 35/32
대표도면
요약
본 발명은 수평형 열전소자 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판 상면에, 원주 방향으로 소정 간격 이격되며, 방사상 방향으로 내측이 서로 분리되도록 복수 개의 제 1 전극을 증착하는 제 1 전극 공정(S200), 상기 제 1 전극 공정(S200)에 의해서, 증착된 상기 제 1 전극의 상면 및 상기 제 1 전극의 방사상으로 외측까지 연장되고, 방사상 방향으로 내측이 서로 분리되도록 복수 개의 열전반도체를 증착하는 열전반도체 공정(S400) 및 상기 제 1 전극의 외측에 상기 열전반도체 공정(S400)에 의해서, 증착된 하나의 상기 열전반도체의 일측과, 상기 제 1 전극 공정(S200)에 의해서, 상기 제 1 전극이 외측까지 연장되어 증착된 일측, 또는, 상기 열전반도체 공정(S400)에 의해서, 상기 제 1 전극의 외측에 증착된 또다른 상기 열전반도체의 일측을 연결하도록 복수 개의 제 2 전극을 증착하는 제 2 전극 공정(S600)으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 수평형 열전소자의 제조 방법에 관한 것이다.
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