특허보유현황
임프린트 리소그래피용 스탬프 제조 방법 및 이를 이용하여 제조된 복제스탬프
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020130029278
출원일
2013-03-19
등록번호
1013226070000
등록일
2013-10-22
IPC 분류
H10P 76/00
대표도면
요약
본 발명은 임프린트 리소그래피용 스탬프 제조 방법 및 이를 이용하여 제조된 복제스탬프에 관한 것으로서, 더욱 상세하게 마스터 스탬프를 접촉 및 가압시킨 다음, 마스터 스탬프의 패턴을 전사하고자 하는 영역에 대해서만 자외선을 조사한 다음, 전 영역을 가열하여 자외선이 조사되었던 영역의 레지스트는 열경화가 되도록 하고, 자외선이 조사되지 않았던 영역의 레지스트는 유동성이 증가되어 편평해지도록 한다. 그 다음, 다시 또 다른 패턴의 마스터 스탬프를 접촉 및 가압시킨 다음, 자외선 경화 및 열경화 과정을 반복적으로 수행함으로써, 다양한 패턴이 복합적으로 형성될 수 있는 임프린트 리소그래피용 스탬프 제조 방법 및 이를 이용하여 제조된 복제 스탬프에 관한 것이다.
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