특허보유현황
자가 정렬 임프린트 리소그래피 장치 및 이를 이용한 임프린트 리소그래피 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020130040151
출원일
2013-04-11
공개번호
1020140122983
공개일
2014-10-21
등록번호
1014711850000
등록일
2014-12-03
IPC 분류
H10P 76/00
대표도면
요약
본 발명은 자가 정렬 임프린트 리소그래피 장치 및 이를 이용한 임프린트 리소그래피 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게 임프린트 리소그래피 공정 시, 스탬프와 기판 척에 고정된 기판이 접촉될 때, 기판 전 면적에 동일한 압력 분포로 힘이 가해질 수 있도록 스탬프와의 접촉면에 평행하게 기판의 위치가 정렬될 수 있는 자가 정렬 임프린트 리소그래피 장치 및 이를 이용한 임프린트 리소그래피 방법에 관한 것입니다.
전문보기
기술이전 상담신청