특허보유현황
선택적 펄스 폭 가변형 레이저를 이용한 능동형 유기 자체 발광 소자의 비열 리페어 방법 및 장치
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020130044803
출원일
2013-04-23
등록번호
1014507670000
등록일
2014-10-07
IPC 분류
H10K 71/00|H01L 51/00
대표도면
요약
본 발명의 목적은 능동형 유기 자체 발광 소자에 불량 화소가 발생된 경우, 선택적 펄스 폭 가변형 극초단 펄스 레이저를 사용하여 리페어를 수행함으로써, 리페어 공정을 통해 의도치 않은 신호가 전달되는 문제나 리페어 공정 시 불량 발생부 이외의 주변부로 공정 영향이 미쳐 손상이 발생되는 문제를 근본적으로 해결하여, 능동형 유기 자체 발광 소자 자체의 손상을 최소화하면서 리페어가 가능하게 하는, 선택적 펄스 폭 가변형 능동형 유기 자체 발광 소자의 비열 리페어 방법 및 장치를 제공함에 있다. 또한 본 발명의 목적은, 극초단 펄스 레이저를 사용하여 레이저 가공을 수행하되, 가공 대상물 또는 집속렌즈를 진동시킴으로써 가공 품질 및 절단 효율을 극대화하는, 선택적 펄스 폭 가변형 능동형 유기 자체 발광 소자의 비열 리페어 방법 및 장치를 제공함에 있다.
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