특허보유현황
롤스탬프를 이용한 용액전사방식의 임프린트 리소그래피 장치 및 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020130045213
출원일
2013-04-24
등록번호
1013031940000
등록일
2013-08-28
IPC 분류
H10P 76/00|G03F 7/20
대표도면
요약
본 발명은 롤스탬프를 이용한 용액전사방식의 임프린트 리소그래피 장치 및 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게 제1기판 상에 도포된 레지스트를 롤스탬프로 전사한 후, 이를 제2기판으로 재전사하는 과정에서 롤스탬프의 표면 패턴이 제2기판 위에 전사된 레지스트에 복제되도록 하는 장치 및 방법에 관한 것이다.
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