특허보유현황
축전 결합식 플라즈마 발생장치
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020130054469
출원일
2013-05-14
공개번호
1020140101261
공개일
2014-08-19
등록번호
1015121590000
등록일
2015-04-08
IPC 분류
H05H 1/46|H01J 37/32
대표도면
요약
공간적으로 균일한 플라즈마를 발생시키고, 대용량 및 대면적 처리가 용이한 축전 결합식 플라즈마 발생장치를 제공한다. 축전 결합식 플라즈마 발생장치는 유전 지지체와 구동 전극 및 지지부를 포함한다. 유전 지지체는 내부에 플라즈마 생성 공간을 형성하며, 일측에 가스 주입구와 반대편 일측에 가스 배출구를 형성한다. 구동 전극은 유전 지지체에 고정되고, 전원부로부터 교류 전압을 인가받아 유전 지지체의 내부에 플라즈마를 생성한다. 지지부는 유전 지지체의 내부에서 처리 대상물을 지지하며, 유전 지지체의 축 방향을 따라 구동 전극과 가스 배출구 사이에 위치한다.
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