특허보유현황
초음파 세정 장치 및 이를 이용한 세정 시스템
출원인
한국기계연구원|(주) 경일메가소닉
등록상태
등록
출원번호
1020130054680
출원일
2013-05-14
등록번호
1013470680000
등록일
2013-12-26
IPC 분류
H10P 72/00|B08B 3/12|H10P 10/00
대표도면
요약
본 발명에 따른 초음파 세정 장치는 피세정물에 대향하도록 구비되고, 냉각유체가 유입되는 냉각유체유입구와, 냉각유체가 배출되는 냉각유체배출구가 형성되는 하우징; 및 상기 하우징의 내부에 설치되는 제1전달체, 상기 제1전달체에 경사지게 설치되며 초음파가 발생하는 압전소자, 상기 하우징의 피세정물에 대향하는 대향면에 밀착 고정되어 상기 제1전달체의 피세정물에 대향하는 대향면과 결합되는 제2전달체를 포함하며, 상기 하우징의 내부에 유입된 냉각유체에 의해 냉각되는 진동자;를 포함하는 것을 특징으로 한다. 또한, 본 발명에 따른 초음파 세정 시스템은 초음파 세정 장치; 및 피세정물에 세정액을 공급하는 세정액 공급수단;을 포함하며, 상기 초음파 세정 장치가 피세정물에 경사지게 대향하도록 구비되는 것을 특징으로 한다.
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