특허보유현황
1칩형 MEMS 마이크로폰 및 그 제작 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020130057711
출원일
2013-05-22
공개번호
1020140137158
공개일
2014-12-02
등록번호
1014722970000
등록일
2014-12-08
IPC 분류
H04R 19/00|H04R 19/04|H04R 31/00
대표도면
요약
본 발명은 1칩형 MEMS 마이크로폰 및 그 제작 방법에 관한 것으로, 본 발명의 목적은 종래의 1칩형 MEMS 마이크로폰의 구조를 개선하여 부품 수 및 공정 수 저감, 부품 재질 교체를 통한 강성 강화 및 비용 절감, 감도 및 성능 향상을 얻을 수 있도록 하는, 1칩형 MEMS 마이크로폰 및 그 제작 방법을 제공함에 있다.
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