특허보유현황
MEMS 마이크로폰을 이용한 유연 기판 부착형 음향 측정 장치 및 그 제조 방법
출원인
한국기계연구원|(주)에스엠인스트루먼트
등록상태
등록
출원번호
1020130058564
출원일
2013-05-23
등록번호
1013465830000
등록일
2013-12-24
IPC 분류
H04R 31/00|H04R 1/04|G01S 3/808
대표도면
요약
본 발명은 MEMS 마이크로폰을 이용한 유연 기판 부착형 음향 측정 장치 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 본 발명의 목적은 유연 기판에 MEMS 마이크로폰이 형성되도록 함으로써 형상의 유연한 변화가 가능하여 복잡한 형상의 구조물에도 용이하고 안정적으로 부착이 가능하도록 하는, MEMS 마이크로폰을 이용한 유연 기판 부착형 음향 측정 장치 및 그 제조 방법을 제공함에 있다.
전문보기
기술이전 상담신청