특허보유현황
이온 빔 소스의 양극 지지부 및 이를 갖는 이온 빔 소스
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020130060050
출원일
2013-05-28
공개번호
1020140139706
공개일
2014-12-08
등록번호
1014912550000
등록일
2015-02-02
IPC 분류
H01J 37/317|H01J 37/08|H01J 27/02
대표도면
요약
이온 빔 소스의 양극 지지부는 이온 빔 소스의 몸체를 관통하여 양극을 지지하고, 양극 내부로 냉매를 순환시키기 위한 유로를 가지며, 양극으로 전력을 공급하기 위해 도전성 물질로 이루어지는 제1 구조물 및 제1 구조물과 몸체가 전기적으로 연결되는 것을 방지하기 위해 절연 물질로 이루어지며 제1 구조물을 감싸도록 구비되는 제2 구조물을 포함할 수 있다. 따라서, 양극 지지부는 양극을 냉각시킬 수 있고, 몸체와 양극이 전기적으로 절연시킬 수 있다.
전문보기
기술이전 상담신청