특허보유현황
이온 빔 소스
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020130063840
출원일
2013-06-04
공개번호
1020140142464
공개일
2014-12-12
등록번호
1014954240000
등록일
2015-02-13
IPC 분류
C23C 14/32|C23C 14/46|H01F 7/02|C23C 14/02
대표도면
요약
이온 빔 소스는 내부 공간을 가지며 상면이 개방되고, 내부에 내부 공간으로 가스를 공급하기 위한 가스 공급홀들을 갖는 몸체와, 몸체의 상면에 구비되며, 내부 공간을 노출하는 개구를 갖는 음극 및 몸체의 내부 공간에 음극과 이격되도록 구비되며, 음극과의 간격을 넓히기 위해 개구와 대응하는 홈을 가지고, 외부로부터 인가되는 전원과 연동하여 음극과 사이에서 전기장을 형성하여 가스를 이온화하는 양극을 포함할 수 있다. 따라서, 이온 빔 소스에서 이온화 가스의 에너지를 저하시킬 수 있다.
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