특허보유현황
캐필러리부가 구비된 하나의 회전전극을 이용한 롤투롤 플라즈마 처리 시스템
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020130066296
출원일
2013-06-11
공개번호
1020140144770
공개일
2014-12-22
등록번호
1015292330000
등록일
2015-06-10
IPC 분류
H01J 37/32|H05H 1/46
대표도면
요약
본 발명은 고밀도 플라즈마 발생장치 및 이를 이용한 기판의 플라즈마 처리시스템 및 처리방법에 관한 것으로서, 외주면 상에 복수의 캐필러리부들을 가지는 도전성 몸체를 포함하는 회전전극, 상기 회전전극과는 이격되며 상기 회전전극의 원주방향을 따라 서로 이격되어 배열되는 복수의 판상형 전극들 및 상기 회전전극과는 이격되고 상기 복수의 판상형 전극들과는 접하도록 롤투롤 방식으로 유연기판을 감을 수 있는 한 쌍의 롤들을 포함하는, 캐필러리부가 구비된 회전전극을 이용한 롤투롤 플라즈마 처리 시스템을 제공한다.
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