특허보유현황
빔형 기판이송 로봇의 진동 저감 장치 및 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020130076105
출원일
2013-06-28
등록번호
1013323180000
등록일
2013-11-18
IPC 분류
B25J 15/00|B65G 49/06|B25J 9/16|F16H 7/08
대표도면
요약
본 발명은 암(arm)에 외팔보 형태의 포크가 형성되어 기판이 포크에 적재되어 기판을 이송하는 빔형 기판이송 로봇에서, 포크에 기판이 적재되지 않은 상태에서 포크의 유연모드 진동 및 포크에 기판이 적재된 상태에서 포크의 유연모드 진동 각각에 대한 노치필터가 구성되어, 미리 결정된 공정 프로파일에 따라 현재 이동 궤적의 다음 궤적에서 기판이 적재되지 않는지 또는 기판이 적재되는지를 판단하여 기판의 적재 유무에 따라 노치필터를 선택하여 적용함으로써 포크의 유연모드가 가진되지 않도록 하여 포크의 진동을 저감시킬 수 있는 빔형 기판이송 로봇의 진동 저감 장치 및 방법에 관한 것이다.
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