특허보유현황
초음파 세정 장치 및 이를 이용한 세정 시스템
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020130091317
출원일
2013-08-01
공개번호
1020150015679
공개일
2015-02-11
등록번호
1015110180000
등록일
2015-04-06
IPC 분류
H10P 72/00|B08B 3/12|H10P 10/00
대표도면
요약
본 발명에 따른 초음파 세정 장치는 하면이 피세정물에 대향하도록 구비되고, 내부로 냉각유체가 유입되기 위한 냉각유체유입구와, 내부에 유입된 냉각유체가 배출되기 위한 냉각유체배출구가 형성되는 하우징; 및 상기 하우징의 내부에 수납되는 제1전달체와, 상기 제1전달체의 상면에 각각 경사지게 설치되며 초음파를 발생시키느 제1압전소자 및 제2압전소자와, 상면이 상기 하우징의 하면에 밀착 고정되면서 상기 제1전달체의 하면과 결합되는 제2전달체를 포함하며, 상기 하우징의 내부로 유입된 냉각유체에 의해 냉각되는 진동자;를 포함하는 것을 특징으로 한다. 또한, 본 발명에 따른 초음파 세정 시스템은 초음파 세정 장치; 및 피세정물에 세정액을 공급하는 세정액 공급수단;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
전문보기
기술이전 상담신청