특허보유현황

포커스 측정 기능을 가지는 레이저 가공 장치 및 레이저 가공 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020130092015
출원일
2013-08-02
등록번호
1014801620000
등록일
2014-12-31
IPC 분류
B23K 26/03|B23K 26/067|B23K 26/046|B23K 26/06|G02B 7/28|G02B 27/09|G03B 13/36
대표도면
포커스 측정 기능을 가지는 레이저 가공 장치 및 레이저 가공 방법 대표도면
요약
별도의 포커스 측정용 레이저 설비를 구비하지 않고 가공용 레이저를 이용하여 가공 대상물의 포커스 위치를 측정할 수 있는 레이저 가공 장치 및 이를 이용한 레이저 가공 방법을 제공한다. 레이저 가공 장치는 레이저 광원, 빔 스플리터, 집속 렌즈, 및 빔 프로파일러를 포함한다. 빔 스플리터는 레이저 광원에서 방출된 레이저 빔을 반사 빔과 투과 빔으로 분리시키고, 집속 렌즈는 투과 빔을 가공 대상물로 집속시킨다. 빔 프로파일러는 가공 대상물에서 반사되어 집속 렌즈와 빔 스플리터를 거친 레이저 빔을 수광하고, 가공 대상물의 위치 변화에 따른 레이저 빔의 프로파일 변화를 측정한다.
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