특허보유현황
임프린트용 마스터 및 이의 제조 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020130110402
출원일
2013-09-13
공개번호
1020150030982
공개일
2015-03-23
등록번호
1015121580000
등록일
2015-04-08
IPC 분류
B29C 33/38|B29C 33/42|G03F 7/00|B29C 59/04|B29C 37/00|B29C 59/02
대표도면
요약
기계적 가공으로 요철 패턴을 형성하는 임프린트용 마스터 및 이의 제조 방법이 개시된다. 임프린트용 마스터의 제조 방법은, 취성 소재의 기판을 준비하는 단계와, 기판의 표면을 공구로 스크래치 가공하여 제1 요철 패턴을 형성함과 동시에 가공 깊이를 증가시키면서 가공 깊이와 가공 길이 및 공구의 하중을 실시간으로 측정하는 단계와, 측정된 하중을 가공 깊이와 가공 길이 중 어느 하나에 대해 피팅하고, 피팅 데이터로부터 공구의 한계 하중을 결정하는 단계와, 공구에 한계 하중보다 낮은 하중 값을 적용한 후 기판의 표면을 공구로 스크래치 가공하여 제2 요철 패턴을 형성하는 단계를 포함한다.
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