특허보유현황
표면 처리를 위한 유전체 장벽 방전 반응기
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020130111356
출원일
2013-09-16
공개번호
1020150031763
공개일
2015-03-25
등록번호
1015204710000
등록일
2015-05-08
IPC 분류
H01J 37/32|H05H 1/24
대표도면
요약
대면적 피처리 기판의 표면 처리 효율을 높일 수 있는 유전체 장벽 방전 반응기를 제공한다. 유전체 장벽 방전 반응기는, 방전 가스가 제공되는 중앙 슬릿을 사이에 두고 대향 배치되며 각자의 유전체로 둘러싸인 제1 및 제2 구동 전극과, 방전 공간을 사이에 두고 제1 및 제2 구동 전극과 대향 배치되고 피처리 기판을 지지하는 접지 전극을 포함한다. 제1 및 제2 구동 전극과 접지 전극 사이의 거리는 제1 구동 전극과 제2 구동 전극 사이의 거리보다 작다.
전문보기
기술이전 상담신청