특허보유현황
표면 처리를 위한 플라즈마 반응기 및 이를 이용한 표시 장치용 기판의 접합 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020130118069
출원일
2013-10-02
등록번호
1014801610000
등록일
2014-12-31
IPC 분류
H01J 37/32|H05H 1/24
대표도면
요약
표면 처리를 위한 플라즈마 반응기와 이를 이용한 표시 장치용 기판의 접합 방법이 개시된다. 표면 처리를 위한 플라즈마 반응기는, 방전 가스가 제공되는 중앙 슬릿을 사이에 두고 대향 배치되는 제1 및 제2 유전체와, 제1 및 제2 유전체의 하부에 위치하며 기판을 지지하는 접지 전극과, 제1 유전체의 내부에 위치하는 구동 전극을 포함하며, 구동 전극 하부의 방전 공간에 기판의 접합 영역이 위치하여 접합 영역을 표면 처리한다.
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