특허보유현황
초음파·기능수 일체형 나노기반 초음파 세정장치
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020130121838
출원일
2013-10-14
공개번호
1020150042972
공개일
2015-04-22
등록번호
1015445040000
등록일
2015-08-07
IPC 분류
H10P 72/00|H10P 52/00
대표도면
요약
본 발명에 따른 초음파·기능수 일체형 나노기반 초음파 세정장치는 버블이 용해된 세정액인 기능수가 생성되는 기능수모듈; 및 상기 기능수모듈에서 이송된 기능수에 초음파를 인가하여 외부로 배출하는 초음파모듈;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
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