특허보유현황
기판 반송 장치에 사용되는 부상 플레이트
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020130160611
출원일
2013-12-20
등록번호
1015179920000
등록일
2015-04-29
IPC 분류
H10P 72/30|B65G 51/03
대표도면
요약
본 발명에서는 미세한 경로를 통해 기판으로 공기를 골고루 공급하여 흔들림 없이 기판의 부상이 보다 안정적으로 이루어질 수 있는 기판 반송 장치에 사용되는 부상 플레이트가 개시된다. 본 발명에 따르면, 하부에서 상부로 공기가 공급되는 공급구와, 상부에서 하부로 공기가 빠져나가는 배출구가 복수 형성된 하판과, 상기 하판의 상부에 배치되고, 하면에 상기 하판의 공급구와 연통되게 내측으로 요입된 채널이 형성되며, 상기 채널에서 유동하는 공기가 상면으로 배출되게 상면과 하면을 관통하는 급기구 형성되고, 상기 채널과 급기구가 연통되게 하면에 내측으로 요입된 패턴 형태의 미세홈이 형성되며, 상기 하판의 배출구와 연통되게 복수의 배기구가 형성된 상판을 포함하되, 상기 하판은, 상기 상판의 급기구와 마주보는 위치에 상면과 하면을 관통하는 체결구를 형성하고, 하면에는 상기 체결구와 급기구를 체결하는 볼트가 장착되며, 상기 급기구는, 상기 볼트가 끼워지도록 하면에서 상부로 요입된 볼트홀과, 상기 볼트홀의 상부에 상기 볼트홀 보다 작은 직경으로 볼트홀과 상면을 관통하는 미세홀을 포함한다.
전문보기
기술이전 상담신청