특허보유현황
※ 본 공고는 설정등록된 특허(특허법 제87조)를 기준으로 작성되었으며, 최신 특허출원은 설정등록 이후 순차적으로 반영됩니다.
나노 박막 전사 공정 시뮬레이션 장치 및 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020140036654
출원일
2014-03-28
공개번호
1020150113384
공개일
2015-10-08
등록번호
1016408680000
등록일
2016-07-13
IPC 분류
H10P 76/00
대표도면
요약
본 발명은 나노 박막 전사 공정 시뮬레이션 장치 및 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 전사 공정용 소재 특히 나노 박막의 점착 특성 및 이에 대한 공정 조건의 영향을 모사하여 측정하는 나노 박막 전사 공정 시뮬레이션 장치 및 방법에 관한 것이다.
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