특허보유현황
박막의 가공 두께 제어 및 모니터링을 위한 실시간 측정 및 가공 장치 및 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020140043304
출원일
2014-04-11
등록번호
1015380280000
등록일
2015-07-14
IPC 분류
B23K 26/03|B23K 26/362|G01B 11/06|B23K 26/00
대표도면
요약
본 발명은 박막의 가공 두께 제어 및 모니터링을 위한 실시간 측정 및 가공 장치에 관한 것이다. 본 발명의 목적은, 서로 다른 재료로 이루어지는 박막이 다층으로 적층되는 가공 대상물을 레이저 가공함에 있어서, 현재 가공되고 있는 박막의 물성을 실시간으로 모니터링할 수 있도록 장치를 구성하여, 상층의 박막 가공이 완료되는 시점에 정확히 가공을 중단할 수 있도록 함으로써, 하층 박막의 손상을 최소화하면서 효과적으로 상측 박막만의 선택적 제거가 가능하도록 하는, 박막의 가공 두께 제어 및 모니터링을 위한 실시간 측정 및 가공 장치를 제공함에 있다.
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