특허보유현황
이온빔 소스의 음극
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020140046888
출원일
2014-04-18
등록번호
1014583410000
등록일
2014-10-29
IPC 분류
H01J 37/317|H01J 37/34|H01J 37/08|H01J 37/30
대표도면
요약
이온빔 소스의 음극은 이온빔 소스의 몸체 상면에 구비되며, 서로 일정 간격 이격되도록 배치되어 이온빔을 인출하기 위한 개구를 형성하는 제1 음극 및 제2 음극을 포함한다. 상기 제1 음극 및 제2 음극 중 적어도 하나는 상기 몸체에 의해 지지되며 내부에 냉매를 순환시키기 위한 유로를 갖는 음극 몸체부 및 상기 음극 몸체부 상에 구비되며, 상기 이온빔의 반복적인 인출로 인해 상기 간격이 변화되는 경우 상기 간격이 일정하게 유지되도록 주기적인 교체가 가능한 교체부로 이루어진다. 따라서, 상기 인출 이온빔으로 인해 상기 음극이 손상되더라도 상기 교체부만을 신속하게 교체할 수 있다.
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