특허보유현황
이온빔 소스의 음극
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020140046898
출원일
2014-04-18
공개번호
1020150120786
공개일
2015-10-28
등록번호
1015839170000
등록일
2016-01-04
IPC 분류
H01J 27/02
대표도면
요약
이온빔 소스의 음극은 이온빔 소스에서 양극과의 사이에서 전기장을 형성하여 이온빔을 생성하고, 상기 이온 빔을 인출하기 위한 개구를 갖는 음극 몸체 및 상기 음극 몸체에서 상기 개구 부위의 표면에 형성되며, 상기 이온 빔에 의해 음극 몸체가 손상되는 것을 방지하기 위해 상기 음극 몸체보다 낮은 스퍼터링 수율을 갖는 물질로 이루어지는 코팅층을 포함한다. 따라서, 상기 음극 몸체의 식각으로 인한 이온빔 발생 특성 왜곡 및 방전 불안정성을 방지할 수 있다.
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