특허보유현황
고열전도율을 갖는 반응소결질화규소의 제조 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020140050614
출원일
2014-04-28
공개번호
1020150124490
공개일
2015-11-06
등록번호
1016395760000
등록일
2016-07-08
IPC 분류
C04B 35/591|C04B 35/64|C04B 35/626
대표도면
요약
전력 디바이스 등의 방열 구조에 사용하기 적합한 고열전도율을 갖는 반응소결질화규소소결체의 제조 방법이 제공된다. 본 발명은 Si 분말을 포함하는 원료 분말을 1 미크론 이하의 크기로 밀링하는 단계; 상기 밀링된 Si 분말 및 소결 조제를 혼합 및 성형하는 단계; 상기 성형체를 1350~1450 o C에서 질화 처리하여 상기 성형체 내에 반응결합 질화규소를 형성하는 단계; 및 상기 반응결합 질화규소를 1850 o C 이상의 온도에서 후소결하여반응소결질화규소소결체를 제조하는 단계를 포함하는 반응소결질화규소소결체의 제조 방법을 제공한다. 본 발명에 따르면, 높은 열전도율의 반응소결질화규소소결체를 제공할 수 있게 된다.
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