특허보유현황
친환경 공정을 위한 플라즈마 반응기
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020140051892
출원일
2014-04-29
공개번호
1020150124827
공개일
2015-11-06
등록번호
1016421290000
등록일
2016-07-18
IPC 분류
H01J 37/32|H10P 50/20|B01D 53/32
대표도면
요약
공정 챔버에서 발생하는 각종 오염 물질을 진공 펌프의 전단에서 분해 및 제거하기 위한 오염 물질 제거용 플라즈마 반응기를 제공한다. 오염 물질 제거용 플라즈마 반응기는 접지 전극부와 절연체 및 구동 전극을 포함한다. 접지 전극부는 진공 펌프의 전단에 위치하며 진공 펌프를 향한 제1 단부와 그 반대측의 제2 단부를 포함하는 관 모양의 제1 접지 전극과, 제1 접지 전극의 측면에 접속되며 공정 가스를 이송하는 관 모양의 제2 접지 전극을 포함한다. 절연체는 제2 단부에 연결 설치된다. 구동 전극은 절연체의 외면에 고정되고, 교류 전원부와 연결되어 교류 구동 전압을 인가받으며, 접지 전극부와의 전압 차에 의해 제1 접지 전극의 내부에 저압 플라즈마를 생성한다.
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