특허보유현황
친환경 공정을 위한 플라즈마 반응기
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020140052437
출원일
2014-04-30
등록번호
1015428960000
등록일
2015-08-03
IPC 분류
H01J 37/32|H10P 50/20
대표도면
요약
공정 챔버로부터 진공 펌프를 향하는 공정 가스의 배출 경로 상에 설치되어 공정 가스에 포함된 오염 물질을 제거하는 플라즈마 반응기를 제공한다. 플라즈마 반응기는 내부로 공정 가스가 통과하는 관 모양의 접지 전극과, 접지 전극 내부의 공정 가스 스트림을 가로지르도록 절연체를 통해 접지 전극에 연결 설치되며 교류 전원부와 연결되어 교류 구동 전압을 인가받는 판 모양의 구동 전극과, 구동 전극의 표면을 덮어 보호하는 보호부를 포함한다.
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