특허보유현황
SCIL 공정용 레플리카 스탬프 및 이의 제조방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020140060666
출원일
2014-05-21
등록번호
1015517720000
등록일
2015-09-03
IPC 분류
B29C 33/38|B29C 59/02|B29C 33/42|B29K 67/00
대표도면
요약
본 발명은 SCIL 공정용 레플리카 스탬프 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게 유리 기판과, 중간층과, 마스터 스탬프의 패턴이 복제되는 패턴층을 포함하여 형성되는 SCIL(Substrate Conformal Imprinting Lithography) 공정용 레플리카 스탬프에 있어서, 유리 기판의 타측면에 보호 필름이 부착됨으로써, 유리 기판의 인장 강도는 유지하면서 유연성을 향상시키고, 이를 통해 SCIL 공정 인자의영향도를 완화시켜 SCIL 공정의 성공률을 높이는 SCIL 공정용 레플리카 스탬프 및 이의 제조방법에 관한 것이다.
전문보기
기술이전 상담신청