특허보유현황
단일체로 가공된 차분력 구동형 탄성힌지 기반 2축 병렬 스테이지
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020140061948
출원일
2014-05-23
공개번호
1020150134752
공개일
2015-12-02
등록번호
1016058230000
등록일
2016-03-17
IPC 분류
B23Q 5/28|B23Q 16/00
대표도면
요약
본 발명은 단일체로 가공된 차분력 구동형 탄성힌지 기반 2축 병렬 스테이지에 관한 것으로서, 이동부의 4면에 압전 액추에이터에 의해 구동되는 압전 구동부가 배치되고 각각의 압전 구동부들은 탄성힌지로 베이스에 결합되어 연결됨으로써, 이동부의 원점이 중심에 있고 압전 구동부들의 인력의 차이인 차분력에 의해 이동부가 2축 방향(XY 방향)으로 이동될 수 있는 단일체로 가공된 차분력 구동형 탄성힌지 기반 2축 병렬 스테이지에 관한 것이다.
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