특허보유현황
롤 임프린트 리소그래피 장치 및 그 제어방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020140066683
출원일
2014-06-02
등록번호
1014862050000
등록일
2015-01-20
IPC 분류
B29C 59/04|B29C 35/04|B29C 35/08
대표도면
요약
본 발명은 롤 임프린트 리소그래피 장치 및 방법에 관한 것으로, 자외선 경화형 롤유닛, 열 경화형 롤유닛 및 평판유닛으로 구성되어 롤 또는 평면 형태의 스탬프와 기판에 대해 다양한 조합의 자외선 경화형 또는 열 경화형 임프린트 리소그래피 공정을 수행할 수 있는 롤 임프린트 리소그래피 장치 및 방법에 관한 것이다.
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