특허보유현황
MEMS 마이크로폰
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020140080800
출원일
2014-06-30
등록번호
1014623750000
등록일
2014-11-11
IPC 분류
H04R 19/00|H04R 19/04|H10D 48/50
대표도면
요약
본 발명은 MEMS 마이크로폰에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 스트레스로 인한 멤브레인의 변형 및 잔류응력을 방지하고, 멤브레인의 강성을 줄인 MEMS 마이크로폰에 관한 것이다.
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