특허보유현황
친환경 공정을 위한 플라즈마 반응기
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020140083093
출원일
2014-07-03
공개번호
1020160004595
공개일
2016-01-13
등록번호
1016076370000
등록일
2016-03-24
IPC 분류
H01J 37/32|H10P 50/20|B01D 53/32
대표도면
요약
공정 챔버에서 발생하는 각종 유해 물질을 진공 펌프의 전단에서 분해 및 제거하기 위한 플라즈마 반응기를 제공한다. 플라즈마 반응기는 내부 공간을 가지는 절연체와, 절연체의 적어도 한 단부에 연결되는 접지 전극과, 절연체의 외면에 고정되고 전원부와 연결되어 교류(AC) 또는 고주파(RF) 전압을 인가받는 구동 전극과, 산소를 포함하는 제1 반응가스 주입을 위한 제1 주입부와, 수소 또는 탄화수소를 포함하는 제2 반응가스 주입을 위한 제2 주입부를 포함한다. 제1 주입부와 제2 주입부는 서로 이격되며, 제1 반응가스와 제2 반응가스 중 어느 하나는 다른 하나보다 플라즈마에 의해 먼저 해리된다.
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