특허보유현황
다중 특성을 가지는 플라즈마 반응기
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020140087450
출원일
2014-07-11
공개번호
1020160007169
공개일
2016-01-20
등록번호
1016200090000
등록일
2016-05-03
IPC 분류
H05H 1/24|H05H 1/30|H05H 1/34
대표도면
요약
본 발명의 목적은 반응물의 온도를 적절하게 제어할 수 있으며, 동시에 높은 전자 밀도와 전자 에너지를 구현하는 다중의 특성을 가지는 플라즈마 반응기를 제공하는 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 다중 특성을 가지는 플라즈마 반응기는, 제1전압으로 제1플라즈마를 발생시켜 반응물의 온도를 높여서 제1반응물을 생성하는 제1플라즈마 반응부, 및 상기 제1플라즈마 반응부에 연결되고, 제2전압으로 제2플라즈마를 발생시켜 상기 제1반응물의 전자 밀도 및 전자 에너지를 제어하여 제2반응물을 생성하는 제2플라즈마 반응부를 포함한다.
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