특허보유현황
연소 후 수처리형 스크러버
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020140087452
출원일
2014-07-11
공개번호
1020160007171
공개일
2016-01-20
등록번호
1016076410000
등록일
2016-03-24
IPC 분류
H10P 50/00|H10P 10/00
대표도면
요약
본 발명의 목적은 반도체 제조 공정에서 발생되는 삼불화질소(NF3)와 같은 지구온난화 물질을 효과적으로 제거하는 연소 후 수처리형 스크러버를 제공하는 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 연소 후 수처리형 스크러버는, C와 H를 포함하는 연료와 산화제를 공급하여 N과 F를 포함하는 대상물질을 연소시켜 HF, H 2 O와 N 2 로 전환하는 제1하우징, 및 상기 산화제의 일부와 상기 연료의 일부로 플라즈마를 발생시켜 연료를 개질하여 H 2 를 생성하고, 상기 연소과정에서 발생하는 NOx와 상기 H 2 를 선택적 비촉매 환원(SNCR)으로 반응시켜 NOx를 제거하는 개질부를 포함하고, 상기 제1하우징은, 대상물질을 공급하는 내부 통로, 및 상기 내부 통로의 일측에서 상기 대상물질을 연소시켜 제1화염을 형성하도록 연료와 산화제를 공급하는 연료 통로와 산화제 통로를 구비한다.
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