특허보유현황
대면적 초음파 정밀 세정장치
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020140095549
출원일
2014-07-28
공개번호
1020160014133
공개일
2016-02-11
등록번호
1015992140000
등록일
2016-02-25
IPC 분류
B08B 3/12|B08B 3/14|B08B 5/02
대표도면
요약
본 발명은 대면적 초음파 정밀 세정장치에 관한 것으로서, 초음파 세정부의 일측에 구비된 세정액 분사 노즐을 통해 기판의 상면에 세정액을 분사하고 초음파 세정부에서 기판의 세정이 완료된 세정수를 초음파 세정부의 타측에서 흡입 수단을 통해 흡입하도록 함으로써, 대면적의 기판을 세정하기 용이하고 기판의 재 오염을 방지할 수 있으며 세정 효과를 향상시킬 수 있는 대면적 초음파 정밀 세정장치에 관한 것이다.
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