특허보유현황
스크러버
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020140125179
출원일
2014-09-19
공개번호
1020160034093
공개일
2016-03-29
등록번호
1016359790000
등록일
2016-06-28
IPC 분류
H10P 72/00|H05H 1/46|B01D 53/34|H01J 37/32|H05H 1/34
대표도면
요약
본 발명의 목적은 과불화합물(PFC) 또는 고농도의 휘발성유기화합물(VOC)을 고온에서 제거하고 동시에 파우더의 침착을 방지하는 스크러버를 제공하는 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 스크러버는, 플라즈마 아크를 발생시켜 토출하는 플라즈마 발생기, 및 상기 플라즈마 발생기의 토출 측에서 토출되는 플라즈마 아크를 향하여 과불화합물과 파우더를 포함하는 공정가스 또는 고농도의 휘발성유기화합물(VOC)을 포함하는 처리기체를 공급하여 화염을 형성하는 반응기를 포함하며, 상기 반응기는 상기 플라즈마 발생기의 토출 측에 확장 연결되고 일측으로 공정가스 또는 처리기체를 유입하는 연소실 벽체, 상기 연소실 벽체의 외측에 배치되어 제1가스 공급구를 통하여 공정가스 또는 처리기체를 상기 연소실 벽체의 내부로 공급하는 공정가스 외측 챔버, 및 상기 공정가스 내측 챔버에 대응하여 상기 연소실 벽체의 내측에 배치되어 제2가스 공급구로 공정가스 또는 처리기체를 상기 플라즈마 아크에 공급하는 반응대를 포함한다.
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