특허보유현황
복수의 나노갭을 포함하는 기판 및 이의 제조방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020140129531
출원일
2014-09-26
공개번호
1020160037371
공개일
2016-04-06
등록번호
1016876970000
등록일
2016-12-13
IPC 분류
G01J 3/44
대표도면
요약
본 발명은 복수의 나노갭을 포함하는 기판 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 서로 이격된 돌기형 구조체가 형성된 기판; 상기 기판 표면 및 돌기형 구조체 상에 형성된 금속 함유 나노입자; 및 상기 기판과 금속 함유 나노입자 사이에 형성되고, 무기물 함유 박막층 및 금속 함유 박막층 각각을 적어도 하나 이상 포함하는 연속층;을 포함하되, 상기 금속 함유 나노입자 간, 상기 금속 함유 나노입자와 상기 금속 함유 박막층 간, 무기물 함유 박막층으로 분리된 금속 함유 박막층 간에 나노갭이 형성된 것을 특징으로 하는 복수의 나노갭을 포함하는 기판에 관한 것으로, 다중 나노갭을 형성하여 향상된 플라즈몬 공명의 증폭 효과를 얻을 수 있는 복수의 나노갭을 포함하는 기판 및 이의 제조방법을 제공하는 효과가 있다.
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