특허보유현황
무기물이 성장된 기판 및 이의 제조방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020140129574
출원일
2014-09-26
등록번호
1016011500000
등록일
2016-03-02
IPC 분류
G01J 3/44|C23C 30/00|B82Y 40/00
대표도면
요약
본 발명은 무기물이 성장된 기판 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 서로 이격된 돌기형 구조체가 형성된 기판; 상기 돌기형 구조체가 형성된 지점에 성장된 무기물 함유 막대; 상기 무기물 함유 막대 상에 형성된 금속 함유 나노입자; 및 상기 금속 함유 나노입자 사이에 형성된 나노갭;을 포함하는 것을 특징으로 하는 무기물이 성장된 기판에 관한 것으로, 본 발명은 본 발명은 열적 안정성이 확보되고 나노갭이 용이하게 조절된 무기물이 성장된 기판 및 이의 제조방법을 제공하는 효과가 있다.
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