특허보유현황
나노갭이 조절된 기판 및 이의 제조방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020140130608
출원일
2014-09-29
공개번호
1020160038205
공개일
2016-04-07
등록번호
1016396840000
등록일
2016-07-08
IPC 분류
G01J 3/44|G01N 21/65
대표도면
요약
본 발명은 나노갭이 조절된 기판 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 연신가능한 기판; 상기 기판을 가공하여 상기 기판의 표면에 서로 이격되어 형성된 돌기형 구조체; 상기 돌기형 구조체에 형성된 금속 함유 나노입자; 및 상기 금속 함유 나노입자 사이에 형성되고, 상기 기판을 연신하여 조절될 수 있는 나노갭;을 포함하는 것을 특징으로 하는 나노갭이 조절된 기판에 관한 것으로, 기판의 연신률을 이용하여 외력이 없이도 금속 함유 나노입자간의 이격거리가 조절되는 효과가 있다.
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