특허보유현황
이트리아 기반 전기전도성 내플라즈마 부재 및 그 제조 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020140136865
출원일
2014-10-10
공개번호
1020160043213
공개일
2016-04-21
등록번호
1016330350000
등록일
2016-06-17
IPC 분류
C04B 35/505
대표도면
요약
이트륨 산화물을 포함하는 전기 전도성 내플라즈마 부재가 개시된다. 본 발명에서 상기 내플라즈마 부재는 이트륨 산화물로 구성되는 기지상과, Ti, Zr 및 Hf으로 이루어진 그룹 중에서 선택되는 최소한 1종의 금속의 카바이드 또는 나이트라이드를 포함하는 분산상으로 구성된다. 본 발명에 따르면, 본 발명에 따르면, 반도체급의 이트리아 복합체를 제공할 수 있어, 포커스 링과 같은 전기전도성을 요하는 내플라즈마 부재로 사용 가능하다.
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