특허보유현황
원자 분해능 변형 분포 측정 장치 및 방법
출원인
한국기계연구원|브라운 유니버시티
등록상태
등록
출원번호
1020140139245
출원일
2014-10-15
공개번호
1020160044336
공개일
2016-04-25
등록번호
1016336480000
등록일
2016-06-21
IPC 분류
G01Q 60/24
대표도면
요약
본 발명의 원자 분해능 변형 분포 측정 장치는 AFM 시스템을 이용하여 분해능을 높여 저비용으로 원자 스케일의 변형률을 측정할 수 있도록 한 것으로서, 레이저 빔을 발생시키는 레이저 광원; 원자간력에 의해 변형이 발생되도록 측정 시편 또는 기준 시편에 근접하게 배치되는 제1캔틸레버 및 제2캔틸레버; 레이저 빔이 상기 제1캔틸레버 및 상기 제2캔틸레버에 순차적으로 반사되도록 하며, 상기 제1캔틸레버 및 상기 제2캔틸레버가 상점 위치에 배치되도록 레이저 빔의 광경로를 조절하는 광학계; 상기 제2캔틸레버에서 반사된 레이저 빔을 관측하는 관측부; 그 위에 측정 시편 또는 기준 시편이 놓여지며, X, Y, Z 3축 방향으로 이동 가능하게 형성되는 스테이지; 를 포함하여 이루어진다.
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