특허보유현황
※ 본 공고는 설정등록된 특허(특허법 제87조)를 기준으로 작성되었으며, 최신 특허출원은 설정등록 이후 순차적으로 반영됩니다.
광학식 선택적 전사 장치 및 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020140162230
출원일
2014-11-20
등록번호
1016053170000
등록일
2016-03-16
IPC 분류
H10W 70/01|H10P 10/00
대표도면
요약
본 발명은 광학식 선택적 전사 장치 및 방법에 관한 것으로, 본 발명의 목적은 스탬프에 부착된 박막 디바이스들을 다른 기판으로 전사하는 과정에서 부분적인 광학 빔 조사를 통해 선택적으로 전사하는 것이 가능한, 광학식 선택적 전사 장치 및 방법을 제공함에 있다.
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