특허보유현황
크랙을 이용한 마이크로/나노 기공 제조 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020140168131
출원일
2014-11-28
공개번호
1020160065255
공개일
2016-06-09
등록번호
1016352820000
등록일
2016-06-24
IPC 분류
B82B 3/00|C08J 3/00
대표도면
요약
본 발명은 마이크로/나노 스케일의 기공을 보다 용이하게 제조할 수 있는 크랙을 이용한 마이크로/나노 기공 제조 방법에 관한 것으로, 두께방향을 따라 외면을 관통하는 복수개의 제1 기공이 형성되는 기판을 준비하는 기판 준비단계; 상기 제1 기공 측으로 경화성 수지를 포함하는 용액을 제공하는 용액 제공단계; 상기 제1 기공 측으로 제공된 용액에 크랙이 발생되도록 상기 용액을 경화시키는 용액 경화단계;를 포함하며, 상기 용액 경화단계를 통해 발생된 크랙은 상기 제1 기공보다 더 작은 크기의 제2 기공을 형성하는 것을 특징으로 한다.
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