특허보유현황
플라즈마 덕트부를 포함하는 진공 아크 증착 장치
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020140178364
출원일
2014-12-11
공개번호
1020160071085
공개일
2016-06-21
등록번호
1016396300000
등록일
2016-07-08
IPC 분류
C23C 14/28
대표도면
요약
본 발명은 아크 증발부 및 상기 아크 증발부로부터 발생된 하전입자를 기판으로 유도하기 위한 플라즈마 덕트부를 포함하는 진공 아크 증착 장치에 있어서, 상기 아크 증발부는, 제1타겟부재 및 상기 제1타겟부재와 인접하여 위치하는 제2타겟부재를 포함하고, 상기 제1타겟부재를 커버하는 제1커버부재 및 상기 제2타겟부재를 커버하는 제2커버부재를 포함하는 진공 아크 증착 장치에 관한 것으로, 상기 아크 증발부는 적어도 2개 이상의 타겟부재를 포함하고 있기 때문에, 진공아크를 이용한 박막을 증착함에 있어서, 하전입자가 발생되는 부분이 복수개에 해당하므로, 공정 시간이 감소할 뿐만 아니라, 대면적의 박막을 증착하는 데에 유리한 장점이 있다.
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