특허보유현황
엑스레이 그리드 제조 장치 및 그 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020140179434
출원일
2014-12-12
등록번호
1016307870000
등록일
2016-06-09
IPC 분류
A61B 6/06|G21K 1/00|G01T 7/00
대표도면
요약
본 발명의 목적은 엑스레이의 산란 방지와 투과를 수행하는 엑스레이 그리드의 투과 채널을 엑스레이 조사 각도에 대응하도록 기울어지게 제조하는 엑스레이 그리드 제조 장치를 제공하는 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 엑스레이 그리드 제조 장치는, 레이저 발생기, 상기 레이저 발생기에서 방사되는 레이저빔을 반사하는 반사미러, 및 상기 반사미러에서 반사되는 레이저빔을 엑스레이 조사 방향으로 조사하여 기판에 투과 채널을 성형하는 광학렌즈 세트를 포함한다.
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