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한국기계연구원

등록

1020140190129

2014-12-26

1020160079182

2016-07-06

1016503350000

2016-08-17

H02N 2/02|H02N 2/00

본 발명은 압전구동 메커니즘 및 고하중용 3축 미세 수직평면운동 압전구동 스테이지에 관한 것으로서, 지지부에 탄성링크로 운동단이 연결되고, 상기 운동부에 탄성링크로 최종단이 연결되어, 상기 운동단과 최종단은 서로 직교하는 방향으로 이동 가능하도록 형성되며, 상기 운동단과 지지부 사이에 압전 액추에이터가 개재되는 한 쌍의 압전 구동부를 포함하여 이루어지며, 상기 한 쌍의 압전 구동부는 이격되어 적층되며 평면상에서 서로 직교하도록 배치되고, 상기 한 쌍의 압전 구동부들의 최종단에는 회전관절의 양단이 결합되도록 구성되는 압전구동 메커니즘이 중심을 기준으로 3개가 서로 120도 간격으로 이격되어 배치되고, 상기 압전구동 메커니즘들의 회전관절에 결합되어 상기 3개의 압전구동 메커니즘들 사이에 플랫폼이 배치되며, 상기 압전구동 메커니즘들이 지지부가 베이스에 고정되어 수직으로 배치되도록 3축 미세 수직평면운동 압전구동 스테이지가 형성됨으로써, 탄성링크 및 압전 액추에이터에 가해지는 하중이 고르게 분산되어 압전 액추에이터의 구동에 의해 수직평면 상에서 평판 플랫폼이 원활하게 병진운동과 회전운동을 할 수 있는 압전구동 메커니즘 및 고하중용 3축 미세 수직평면운동 압전구동 스테이지에 관한 것이다.

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