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한국기계연구원

등록

1020140192903

2014-12-30

1020160080556

2016-07-08

1016589870000

2016-09-13

H10N 10/80|H10N 10/01

본 발명은 압전소자 폴링장치에 관한 것으로, 진공챔버를 이용한 압전소자 폴링장치와 순환팬을 이용한 압전소자 폴링장치로 이루어진다. 먼저, 진공챔버를 이용한 압전소자 폴링장치는 챔버(100); 챔버(100)의 내부에 구비되어, 압전소자(A)가 상단에 위치되는 받침부(200); 상기 받침부(200)의 상측에 일정거리 이격되어 형성되고, 탐침(310)이 상기 압전소자(A) 방향으로 돌출 형성되는 탐침부(300); 상기 챔버(100)와 연결되어, 상기 챔버(100) 내부의 압력을 조절하는 진공부(400); 및 상기 탐침부(300) 및 받침부(200)와 연결되어, 전원을 인가하는 전원부(500);를 포함하여 이루어진다. 한편, 순환팬을 이용한 압전소자 폴링장치는 챔버(100); 챔버(100)의 내부에 구비되어, 압전소자(A)가 상단에 위치되는 받침부(200); 상기 받침부(200)의 상측에 일정거리 이격되어 형성되고, 탐침(310)이 상기 압전소자(A) 방향으로 돌출 형성되는 탐침부(300); 상기 챔버(100)의 상단에 구비되는 순환팬(600); 상기 챔버(100)의 하단에 천공되어 형성되는 적어도 하나 이상의 제1 순환공(610); 및 상기 탐침부(300) 및 받침부(200)와 연결되어, 전원을 인가하는 전원부(500); 를 포함하여 이루어진다.

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