특허보유현황
유연성 기판용 롤투롤 진공 증착 시스템
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020150041294
출원일
2015-03-25
등록번호
1016589570000
등록일
2016-09-13
IPC 분류
H10K 99/00|H10P 76/40
대표도면
요약
롤투롤 진공 증착시스템은 기판부를 연속으로 공급하는 공급롤, 상기 기판부에 패턴을 형성하는 복수의 패턴유닛들, 및 상기 패턴이 형성된 기판부를 연속으로 회수하는 회수롤을 포함한다. 상기 패턴유닛들 각각은 정렬유닛, 패턴마스크, 센싱유닛, 스테이지 및 증착유닛을 포함한다. 상기 정렬유닛은 상기 기판부에 형성된 정렬마크를 센싱하여 상기 기판부를 정렬시킨다. 상기 패턴마스크는 상기 기판부와 소정거리 이격되도록 배치된다. 상기 센싱유닛은 상기 기판부와 상기 패턴 마스크 사이의 간극을 센싱한다. 상기 스테이지는 상기 패턴마스크가 실장되며, 상기 정렬유닛 및 상기 센싱유닛의 센싱 정보와 피드백되어 상기 패턴마스크의 위치를 제어한다. 상기 증착유닛은 상기 패턴마스크를 통해 상기 기판부에 소정의 패턴을 증착시킨다.
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